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[K系列] 標準款
檯面尺寸:304mm x 304mm
行程:304mm x 304mm
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[O系列] 加大測量艙
檯面尺寸:254mm x 254mm
行程:254mm x 254mm
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[O系列] 特大自動檯面
檯面尺寸:810mm x 835mm
行程:400mm x 400mm
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[O系列] 加大自動檯面
檯面尺寸:710mm x 635mm
行程:254mm x 254mm
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[O系列] 標準自動檯面
檯面尺寸:380mm x 330mm
行程:150mm x 125mm
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[M系列] 特大自動檯面
檯面尺寸:810mm x 835mm
行程:400mm x 400mm
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[M系列] 標準自動檯面
檯面尺寸:380mm x 330mm
行程:254mm x 254mm
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[L系列] 加大測量艙
檯面尺寸:254mm x 254mm
行程:254mm x 254mm
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[B系列] 加大固定檯面
檯面尺寸:710mm x 635mm
行程:--
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[B系列] 標準固定檯面
檯面尺寸:310mm x 335mm
行程:--
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[W系列] 晶圓專用檯面
檯面尺寸:300mm x 400mm
行程:300mm x 400mm
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[A系列] 最大自動檯面
檯面尺寸:560mm x 585mm
行程:600mm x 600mm
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[G系列] 手動微調檯面
檯面尺寸:300mm x 254mm
行程:38mm x 38mm手動微調
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[G系列] 標準固定檯面
檯面尺寸:330mm x 305mm
行程:--
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[P系列] 特大自動檯面
檯面尺寸:810mm x 835mm
行程:400mm x 400mm
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[P系列] 加大自動檯面
檯面尺寸:710mm x 635mm
行程:254mm x 254mm
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[P系列] 標準自動檯面
檯面尺寸:380mm x 330mm
行程:150mm x 125mm
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