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[G系列] 標準固定檯面
檯面尺寸：330mm x 305mm
行程：--
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[G系列] 手動微調檯面
檯面尺寸：300mm x 254mm
行程：38mm x 38mm手動微調
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[B系列] 標準固定檯面
檯面尺寸：310mm x 335mm
行程：--
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[B系列] 加大固定檯面
檯面尺寸：710mm x 635mm
行程：--
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[P系列] 標準自動檯面
檯面尺寸：380mm x 330mm
行程：150mm x 125mm
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[P系列] 加大自動檯面
檯面尺寸：710mm x 635mm
行程：254mm x 254mm
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[P系列] 特大自動檯面
檯面尺寸：810mm x 835mm
行程：400mm x 400mm
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[L系列] 加大測量艙
檯面尺寸：254mm x 254mm
行程：254mm x 254mm
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[O系列] 標準自動檯面
檯面尺寸：380mm x 330mm
行程：150mm x 125mm
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[O系列] 加大自動檯面
檯面尺寸：710mm x 635mm
行程：254mm x 254mm
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[O系列] 特大自動檯面
檯面尺寸：810mm x 835mm
行程：400mm x 400mm
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[O系列] 加大測量艙
檯面尺寸：254mm x 254mm
行程：254mm x 254mm
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[M系列] 標準自動檯面
檯面尺寸：380mm x 330mm
行程：254mm x 254mm
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[M系列] 特大自動檯面
檯面尺寸：810mm x 835mm
行程：400mm x 400mm
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[W系列] 晶圓專用檯面
檯面尺寸：300mm x 400mm
行程：300mm x 400mm
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[A系列] 最大自動檯面
檯面尺寸：560mm x 585mm
行程：600mm x 600mm
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[K系列] 標準款
檯面尺寸：304mm x 304mm
行程：304mm x 304mm
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