Bowman XRF O系列
- X射線光學系統,用於使用μ-斑點多導毛細管光學進行先進的薄膜測量。
- BOWMAN自豪地介紹了第二代尖端XRF儀器X射線光學系統。測點小,高通量X射線束和大窗口SDD檢測器結合了無與倫比的速度和性能。它可以成為減少時間,金錢和材料浪費的完美工具。
Bowman O series 同時具備高性能和小尺寸的X射線光斑。這是通過多毛細管光學系統實現的,該系統將來自射線管出口窗口的X射線聚焦到50μmFWHM的光斑尺寸,同時幾乎保留100%的X射線通量。結果是對於量測非常小的部件或薄塗層具有更高的靈敏度。多導毛細管光學器件與類似尺寸的准直器系的比較,使用更短的量測時間亦可得到更佳的重複性。
Bowman O series 專為ENIG,ENEPIG和Electroless Nickel%P分析而設計,O系列非常適合PC板、引線框架、細線和更小光斑尺寸要求的晶圓的應用。標準配置包括50μm多導毛細管光學器件、可編程樣品台。該相機具有55倍的視頻放大率和7倍的數位變焦。
產品規格
元素範圍 | 鋁 13 到鈾 92 |
X射線激發 | 50 W(50kV和1mA)微聚焦W陽極管(可選其它陽極元素) |
檢測器 | 分辨率為 145eV(Mn Ka)或更高的SDD檢測器 |
分析層分析和元素的數量 | 每層5層(4層+底層)和每一層可達10個元素,同時分析多達25個元素 |
濾波器/準直器 | 4個主濾波器/多導毛細管FWHM 50um,實際光斑大約100um |
焦距深度 | 具有雷射和自動對焦的單一固定焦距0.1" |
數字脈衝處理 | 4096CH數字多通道分析儀,具有靈活的成型時間,自動信號處理包括無效時間校正和逃逸峰校正 |
電腦 | Intel,CORE i5 3470處理器,8GB DDR3內存,Microsoft Windows 10 Professional 64bit等效能 |
相機光學 | 1/4〃(6mm)CMOS-1280×720 VGA分辨率 |
影像倍率 | 55倍光學放大和7倍數位放大 |
電源供應 | 150W,100-240 伏特,頻率範圍為 47Hz 至 63Hz |
重量 | 53公斤 |
特大可編程 XY | 檯面尺寸:810mm x 835mm / 行程:400mm x 400mm |
內部尺寸 | 高度:140 mm,寬度:335 mm,深度:310 mm |
外形尺寸 | 高度:520 mm,寬度:980 mm,深度:810 mm |
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