Bowman XRF A系列
- X射線光學系統，用於使用μ點多導毛細管光學進行先進薄膜測量，以實現更小的斑點尺寸要求。
- Bowman A系列使用μ-spot多毛細管光學元件實現先進的薄膜測量。這款先進的XRF儀器具有小點，高通量X射線束和大窗口矽漂移檢測器，具有無與倫比的速度，精度和性能。
- 專為ENIG，ENEPIG和Electroless Nickel％P分析而設計，A系列非常適合包括PC板，引線框架，細線和更小光斑尺寸要求的晶圓的應用。
- 在與源距離相同的距離處實現比准直系統高出一百倍以上的通量。
- 雙攝像頭 - 單擊即可呈現250x：
Bowman A系列微型 XRF專為精確測量半導體和微電子中最小的 X 射線特徵而設計。它適用於非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓，以實現全樣本覆蓋和多點可編程自動化。使用多毛細管光學器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM，這是使用 XRF 儀器進行塗層厚度分析時世界上最小的。
一個 140 倍放大的相機用於測量該比例的測點；它配有一個輔助低倍率相機，用於實時觀察樣本和鳥瞰宏觀成像。Bowman 的雙攝像頭系統讓操作員可以看到整個零件，單擊圖像以使用高倍率相機進行縮放，並精確定位要編程和測量的測點。每個方向移動 600 mm 的可編程 XY 載物台可以處理業內最大的樣品。載物台每個軸的精度小於+/- 1 μm。
產品規格
| 元素範圍 | 鋁 13 到鈾 92 |
| X射線激發 | 50 W（50kV和1mA）微聚焦Mo陽極管（可選其它陽極元素） |
| 檢測器 | 分辨率為 145eV（Mn Ka）或更高的SDD檢測器 |
| 分析層分析和元素的數量 | 每層5層（4層+底層）和每一層可達10個元素，同時分析多達25個元素 |
| 濾波器/準直器 | 4個主濾波器/多導毛細管FWHM 7.5um，實際光斑大約15um |
| 焦距深度 | 具有雷射和自動對焦的單一固定焦距0.08" |
| 數字脈衝處理 | 4096CH數字多通道分析儀，具有靈活的成型時間，自動信號處理包括無效時間校正和逃逸峰校正 |
| 電腦 | Intel，CORE i5 3470處理器，8GB DDR3內存，Microsoft Windows 10 Professional 64bit等效能 |
| 相機光學 | 1/4〃（6mm）CMOS-1280×720 VGA分辨率 |
| 影像倍率 | 雙鏡頭，140倍光學放大和7倍數位放大/9倍光學放大 |
| 電源供應 | 150W，100-240 伏特，頻率範圍為 47Hz 至 63Hz |
| 重量 | 1000公斤 |
| 標準電動/可編程 XY | 檯面尺寸：560mm x 585mm / 行程：600mm x 600mm |
| 內部尺寸 | 高度：100 mm，寬度：1400 mm，深度：1470 mm |
| 外形尺寸 | 高度：1780 mm，寬度：1470 mm，深度：1575 mm |
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