Bowman開發了一種全自動In-Line XRF系統，用於在8和12英寸晶片上進行鍍層測量。 該系統基於Bowman M系列Micro XRF技術，使用多毛細管光學器件將X射線束聚焦到7.5 µm FWHM，這是XRF鍍層厚度分析的最小光束尺寸。