X射線螢光光譜儀(X-ray Fluorescence Spectrometer，XRF光譜儀)能以快速、非破壞式的測量方法量測物質。

X射線螢光分析法(X-ray fluorescence，XRF)： 是利用高能量X射線射擊樣品表面材料激發出螢光(又稱次級X射線、特徵射線)，利用此螢光作為元素定性定量分析的方法。

XRF分析原理： X光管產生X射線照射在樣品上，將原子內層電子軌域上的電子擊飛，造成內層電子軌域空洞，為了元素組成穩定，外層電子會向內層遞補，把空洞填補起來。在過程中因為內外層 由於不同元素的電子軌域都不同，所以產生出來的螢光也都不一樣，可以用來定性分析。

依據螢光的特性可以將XRF分為兩種分析方法：

• 1.依據螢光的能量高低不同進行元素分析，稱為能量分散式X射線螢光分析法(Energy Dispersive X-ray Fluorescence, EDXRF)。
• 2.依據螢光的波長長度不同進行元素分析，稱為波長色散式X射線螢光分析法(Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence, WDXRF)。

XRF硬體與特色介紹

對能量分散式X射線螢光分析法(X-ray Fluorescence, XRF) 的儀器類型做簡單的介紹可分為：

• 1.手持式X射線螢光分析光譜儀(Hand Holden XRF, HHXRF)
• 2.可攜式X射線螢光分析光譜儀(Portable XRF)
• 3.桌上型X射線螢光分析光譜儀(Benchtop XRF)

以上3種是目前市場上最常見的能量分散式X射線螢光分析光譜儀。

內部硬體設計：由高壓電源讓X光管產生的X射線直接激發樣品(依照應用可選擇濾波器過濾X光管本身的訊號干擾)，得到的螢光訊號經由檢測器接收訊號後，電腦將得到的類比訊號轉換成數位訊號，以能譜圖呈現結果。