XRF的優點
     XRF對金屬元素最為敏感,特別是元素週期表上Ti-U的元素。對於塗層厚度分析,XRF可以應用於任何金屬或非金屬基材上的單層或多層金屬塗層。對於合金分析,XRF可以確定每個合金元素的%組成,甚至可以確定合金等級號。對於溶液分析,溶液中的金屬離子可以在電鍍槽中進行定量以進行過程控制。
主要優點包括:
1. 無損檢測,樣品製備最少
2. 快速分析 - 期望在幾秒鐘內有分析數據
3. 廉價操作:無需專門科學家即可由新手操作
4. 通用技術可以測量不同類型的基質樣品
5. 大樣本的微特徵的小點分析
6. 同時分析大部分金屬元素
7. 通過各種工業驗證測試認可的方法